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发表于 2024-2-9 15:31:31
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坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱的用途
坚膜烘箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。其的主要作用是除去光刻胶中剩余的溶剂,增强光刻胶对硅片表面的附着力,同时提高光刻胶在刻蚀和离子注人过程中的抗蚀性和保护能力。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。
坚膜烘箱，氮气坚膜烘箱技术性能：
通过坚膜,光刻胶的附着力会得到提高,这是由于除掉了光刻胶中的溶剂,同时也是热融效应作用的结果,因为热融效应可以使光刻胶与硅片之间的接触面积达到比较大。较高的坚膜温度可使坚膜后光刻胶中的溶剂含量更少,但增加了去胶时的困难。
温度范围：RT～250℃；均匀度：±2%℃;
温度波动度：±05℃（空载）温控精度：±01℃;
洁净度：C100;
计时范围：99H99M；
气体氛围：N2；
内部尺寸（）：
450×450×450
500×500×550
600×700×800（可定制）
据相关报道，氮气烘箱在很大一部分程度上引领着市场行情的变化。上海隽思实验仪器有限公司拥有多台先进的专业生产设备，公司是一个专注多年热处理设备、仪器设备的生产厂家，拥有高尖端的技术人才，高素质的工作团队，丰富的生产经验。http://www.junsicn.com/
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